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探針冷熱臺(tái)結(jié)合研究級(jí)巖相學(xué)顯微鏡,輕松獲取試驗(yàn)參數(shù)

發(fā)布時(shí)間:2022-4-18      點(diǎn)擊次數(shù):951

   探針冷熱臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、超導(dǎo)、集成電路等領(lǐng)域,用來測(cè)試芯片、氣體傳感器以及封裝器件的測(cè)試。旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。

  探針冷熱臺(tái)結(jié)合研究級(jí)巖相學(xué)顯微鏡使用,可以直接原位觀察在加溫或冷凍過程中樣品(如:流體包裹體、熔體包裹體)相態(tài)的變化,測(cè)定相變溫度,進(jìn)而獲得相關(guān)的物理化學(xué)參數(shù)。

  一般包括供芯片安裝的測(cè)試腔組件和設(shè)置于測(cè)試腔組件上方的顯微鏡。例如半導(dǎo)體傳感器在生產(chǎn)和研制過程中,需要對(duì)芯片進(jìn)行檢驗(yàn)和測(cè)試,半導(dǎo)體傳感器外形是多樣的,直徑規(guī)格有多種,在測(cè)試過程中需要配合顯微鏡來對(duì)位探針到測(cè)試觸點(diǎn)來測(cè)試電化學(xué)信號(hào)以及觀察芯片表面物理現(xiàn)象(拉曼效應(yīng))進(jìn)行觀察。

  例如內(nèi)含半導(dǎo)體傳感器的氣體傳感器,可以感應(yīng)檢測(cè)周圍易燃易爆或有氣體的泄露濃度,對(duì)該氣體傳感器進(jìn)行測(cè)試時(shí),需要對(duì)測(cè)試腔組件中進(jìn)行填充不同濃度的相應(yīng)氣體。針對(duì)不同的測(cè)試要求,可能還需要不同溫度的測(cè)試環(huán)境以及不同真空度的測(cè)試環(huán)境等等,而現(xiàn)有的探針臺(tái)功能單一,通用性差,導(dǎo)致使用不方便。

  探針冷熱臺(tái)注意事項(xiàng)

  (1) 連接過程保持在不通電源的情況下,最后再倒通電源。

  (2) 注意水泵始終浸沒于水中,定期更換水,防止因?yàn)檠h(huán)冷卻導(dǎo)致水溫過高而影響冷卻效果。

  (3) 在調(diào)試過程中,用過的石英玻璃片要及時(shí)清洗,防止因樣品殘留而導(dǎo)致的溫度調(diào)節(jié)誤差。