烤膠機(jī)（英文名：Hot Plate）又名烘膠臺，烤膠臺，加熱平臺，烤膠板，熱臺，熱板等用途可在光刻工藝中的涂膠后的軟烘，暴光后烘，顯影后的堅膜，磨片粘片熔臘等，它采用整體鑄造，加熱板作為加熱體，增強(qiáng)了設(shè)備的安全性。采用單片機(jī)作為控制核心部件，有極高精準(zhǔn)的控溫精度，緊湊美觀。該設(shè)備對一些溫度敏感材料（如晶體、半導(dǎo)體、陶瓷等）進(jìn)行加熱和裝卡尤為適用。該設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便，安全可靠，是從事半導(dǎo)體熱處理、材料研究生產(chǎn)、溫度干燥試驗等bi不可少的工具。
烤膠機(jī)根據(jù)溶膠-凝膠工藝技術(shù)的特性設(shè)計完成，其關(guān)鍵元器件加熱板由進(jìn)口，采用高品質(zhì)歐姆龍數(shù)顯溫控儀，整機(jī)裝配由武漢重光公司完成，烤膠機(jī)根據(jù)溫度不同，可分為兩種型號：-350和-600。
與傳統(tǒng)的烘箱、真空干燥箱相比，利用烤膠機(jī)固化膜層的優(yōu)勢有：
?。?）烘烤時間減少；
?。?）重復(fù)性高；
?。?）對薄膜的固化效果好。
烤膠機(jī)整個面板溫度均勻，對基片膜層固化效果非常好。由于固化是從下往上，所以不會“皮膚效應(yīng)”。這種“由里而外”的固化方式尤其適合較厚的膜層，因為最靠近基片的膜層會首先固化好，然后是膜層靠外的部分。該款烤膠機(jī)由于升溫迅速，所以產(chǎn)量較高。烘烤時間用秒計算，而不是像傳統(tǒng)烘箱用分鐘或者小時計算。
烤膠機(jī)可在電子、化工等行業(yè)的工礦企業(yè)、科研、教育等單位，進(jìn)行熱老化、溫度試驗及干燥、烘焙、消毒和熱處理等試驗用 。
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